?3D形狀測量機是一種可以測量亞微米級表面形狀的設(shè)備。

亞微米是指微米以下的水平，微米是1毫米的1/1,000。3D 形狀測量機可以捕獲零件的三個維度的形狀并執(zhí)行各種測量。

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它還用于測量電子元件板和半導體的表面粗糙度、高度和厚度。其特點是高速、高分辨率、高精度。

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此外，根據(jù)安裝方法和測量方法，3D形狀測量機有多種類型。安裝方式有固定式和便攜式，測量方式有接觸式、非接觸式、激光跟蹤儀、排版機等。

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3D形狀測量機的應(yīng)用

3D形狀測量機的用途如下。

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1. 線粗糙度測量

3D輪廓測量機可以像觸針式表面粗糙度計一樣測量Ra和Rz等典型表面粗糙度參數(shù)。

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2. 表面粗糙度測量

通過使用 3D 形狀測量機測量整個表面，可以高精度測量波紋度和表面之間的差異。具體示例包括墊圈波紋度評估和塊規(guī)臺階測量。

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3. 平面測量

用于兩點之間的距離、直線、圓心之間的距離以及各種其他平面測量。它用于所有行業(yè)，包括醫(yī)療設(shè)備、考古、成型和鐘表行業(yè)。

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3D形狀測量機原理

許多 3D 形狀測量機使用白光干涉法。白光干涉法是使用白光干涉儀的測量方法。光干涉是當光從物體表面到某一點的距離存在差異時發(fā)生的現(xiàn)象。光學干涉儀利用這種現(xiàn)象來測量表面不規(guī)則性。

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由于光的干涉，樣品表面不平整造成的光程差而出現(xiàn)條紋圖案。條紋的數(shù)量代表樣品表面凹凸的高度。實際上，使用內(nèi)置參考鏡（稱為干涉鏡）的物鏡，將白光照射到參考鏡和物鏡上，在上下移動物鏡的同時用相機觀察干涉信號。

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有的還配備了高感光度CMOS。CMOS 是一種將通過鏡頭進入的光轉(zhuǎn)換為電信號的半導體。使用CMOS固態(tài)圖像傳感器，可以在拍攝形狀的同時拍攝外部照片，從而可以同時進行表面觀察和測量。分析內(nèi)容被轉(zhuǎn)換為3D模型等數(shù)據(jù)，并可在CAD中查看。